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曝光机是什么?曝光机的工作原理

上传时间:2016-09-21 15:34  来源:www.wsm.cn  手机版

关于曝光机,相信很多朋友都对它并没有什么了解。今天为什么网小编就来为大家介绍一下曝光机是什么?曝光机的工作原理。

一,曝光机是什么

曝光机是什么?曝光机的工作原理

曝光机即电子束曝光机,是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来, 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

二,曝光机的工作原理

曝光机是什么?曝光机的工作原理

计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。

二,散光曝光机与平行曝光机的区别

曝光机是什么?曝光机的工作原理

散光曝光机的特点:

1、散光机曝光时灯光是直接照射的,如同电灯一样,两面曝光时上下灯是同时曝光的,

2、平行曝光机不可以曝阻焊油墨

平行曝光机的特点:

1、平行曝光机只有一个灯管,曝光台面上下方有两面镜子,使用折射原理,两面同时曝光时,上下灯是分开曝光的,先曝上灯,一面镜子将光反到台面上方镜子上再折射到曝光台面,曝下灯时,光直射到下方镜子上再折射到台面上,所以用平行曝光机曝光,上灯能量一定要比下灯能量大些,曝光级数才能相同